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        相比于日本的东芝光刻机，阿斯麦的光刻机外观看起来更加的紧凑，主要分为三个部分，曝光台，测量台，以及拥有两个显示器的操作台。

        

        随着操作台主显示器上一串代码闪过之后，曝光台开始发出了轻微的嗡鸣声，紧接着圆晶片开始进入光刻阶段。

        

        这一刻在场的所有的人都屏住了呼吸，空气仿佛都凝固了一般。

        

        因为没有一微米制成芯片技术的掩膜，所以段云采用的还是东芝公司三微米制程技术的fs闪存芯片掩膜，同时还有学习机上专用的仿制版6微米制程的6052芯片掩膜。

        

        很快，10片圆晶片只用了不到5分钟就完成了光刻程序，经过传输带，传回了区的生产车间，在那里，这10片圆晶片还有经过蚀刻等一系列工序处理，最后进行成品率检验。

        

        完成10片fs芯片圆晶片光刻处理之后，两名阿斯麦的工程师又重新更换了掩膜，准备再加工20片6052仿制品的芯片。

        

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